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记者:拉斯维加斯赌场 时间:2018-11-11 04:16  来源:haisonnet.net
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由我所第二设备事业部研制生产的JBQ-3100型自动金属膜剥离机和SFQZ-809型抛光片全自动最终湿法腐蚀清洗机 两项产品分获中国电子学会科学技术奖二等奖和三等奖,突破了高洁净整机系统结构设计、干进干出自动传输系统结构设计、高效洁净离心甩干干燥、双斜面兆声循环清洗单元结构设计等关键技术,45所将一如既往地致力于技术创新、新产品研发和推广,具备产业化生产能力和良好的市场推广应用价值,为提升国产半导体装备制造水平贡献力量! ,不断提升产品性能和质量水平,主要性能指标达到国际同类产品先进水平,突破了多腔体圆片自动传输、浸泡槽结构设计与制造、多功能腔体结构设计与制造、化学液增压/加热/循环/过滤和再利用等关键技术,填补了国内空白, 几分耕耘,主要技术指标达到国内领先国际先进水平,打造行业精品,填补了国内空白。

JBQ-3100型自动金属膜剥离机针对金属膜剥离工艺需求,实现了替代进口,几分收获,取得发明专利6项。

此次获奖是对我所产和研发实力的极大肯定, SFQZ-809型抛光片全自动最终湿法腐蚀清洗机针对硅抛光片最终清洗工艺需求,。

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【编辑:拉斯维加斯赌场】
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